真空鍍膜的物理過(guò)程和工藝流程
來(lái)源:長(zhǎng)辰實(shí)業(yè) 日期:2021-11-09
真空鍍膜的物理過(guò)程
PVD(物理氣相沉積技術(shù))的基本原理可分為三個(gè)工藝步驟:
(1)鍍料的氣化:即鍍料的蒸發(fā)、升華或被濺射從而形成氣化源
(2)鍍料粒子((原子、分子或離子)的遷移:由氣化源供出原子、分子或離子經(jīng)過(guò)碰撞,產(chǎn)生多種反應(yīng)。
(3) 鍍料粒子在基片表面的沉積
薄膜的形成順序?yàn)椋壕哂幸欢芰康脑颖晃健纬尚≡訄F(tuán)→臨界核→小島→大島→島結(jié)合→溝道薄膜→連續(xù)薄膜。因此薄膜的形成過(guò)程可分為四個(gè)階段;臨界核的形成;島的形成、長(zhǎng)大與結(jié)合;溝道薄膜的形成和連續(xù)膜的形成。
真空鍍膜的工藝流程
真空鍍膜的工藝流程一般依次為:前處理及化學(xué)清洗(表面打磨拋光噴砂,除銹除油去氧化層)→工件在真空中烘烤加熱→氬離子輝光清洗→金屬離子轟擊→鍍金屬過(guò)渡層→鍍膜(通入反應(yīng)氣體)→后處理(爐內(nèi)鈍化或出爐后鈍化去應(yīng)力或防止變色,過(guò)UV做防指膜處理等)。

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